Science and technology of microfabrication - symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors: R.E. Howard ..)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1987 | USA, Pittsburgh, Pa | xvii, 373 sidor. ill. 24 cm |